美國Siargo MEMS 氣體質(zhì)量流量控制器流量傳感器 - MFC1600系列

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質(zhì)量流量，時域傳感技術(shù)
量程比100：1
壓力范圍0.1~0.8MPa
可測量多種氣體不需要特別修正
機械接口可定制
各種標(biāo)準通訊選項可供選擇

產(chǎn)品型號：: MFC1600系列

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產(chǎn)品介紹

矽翔微機電系統(tǒng)有限公司（Siargo Ltd.）提供很好的MEMS流量傳感器技術(shù)及產(chǎn)品，以滿足客戶廣泛的應(yīng)用需求。本手冊為現(xiàn)有定型產(chǎn)品的使用說明，矽翔微機電系統(tǒng)有限公司也能夠根據(jù)客戶的要求設(shè)計和定制產(chǎn)品。

美國Siargo MEMS 氣體質(zhì)量流量控制器流量傳感器 MFC1600系列 產(chǎn)品概述：

本產(chǎn)品說明書提供了MFC1600系列氣體質(zhì)量流量控制器的基本信息，可用于非腐蝕性氣體流量控制，涵蓋質(zhì)量流量50mLn/min~20Ln/min，可提供0~5VDC或4~20mA模擬信號控制，或RS485Modbus數(shù)字信號控制。本產(chǎn)品說明書包含性能指標(biāo)、機械尺寸、安裝及保修、客戶服務(wù)及訂貨等信息。
MFC1600質(zhì)量流量控制器的控制范圍可達100:1，可工作在0.1~0.8MPa，0~55℃，機械接口可選雙卡套、G螺紋或快擰接頭，并可定制其他機械接口。
MFC1600質(zhì)量流量控制器采用本公司專有的MEMS流量傳感芯片，集成了時域流量傳感技術(shù)和智能電子技術(shù)。與市場上傳統(tǒng)的量熱式流量傳感技術(shù)相比，這種獨特的時域流量傳感技術(shù)消除了一些常見氣體的敏感性。而對于另外一些敏感性氣體，可以配合軟件實現(xiàn)氣體識別。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料鈍化，并結(jié)合防水、防油納米涂層，產(chǎn)品性能和可靠性得以大幅提高。時域流量傳感技術(shù)還提供了更好的線性度，并使溫度效應(yīng)大幅降低。
備注：mLn/min和Ln/min表示在標(biāo)準狀態(tài)（0℃，101.325kPa）下的標(biāo)準流量。

美國Siargo MEMS 氣體質(zhì)量流量控制器流量傳感器?MFC1600系列?產(chǎn)品特點：

◆質(zhì)量流量，時域傳感技術(shù)
◆量程比100：1
◆壓力范圍0.1~0.8MPa
◆可測量多種氣體不需要特別修正
◆機械接口可定制

◆各種標(biāo)準通訊選項可供選擇